1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
李国光 男 博导 null
电子邮件： liguoguang@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向集成电路先导工艺与仪器装备技术

教育背景1989-09--1994-06 美国加利福尼亚大学 博士
1982-09--1985-07 复旦大学物理系 硕士
1978-09--1982-07 复旦大学物理系 学士


学历

学位
工作经历

工作简历2009-08~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2003-06~2009-07,美国nk科技公司, 首席科学家
2000-03~2002-05,美国纳米技术公司, 算法部主管
1994-07~2000-02,美国nk科技公司, 研发主管
1989-09~1994-06,美国加利福尼亚大学, 博士
1985-07~1989-09,复旦大学材料系, 讲师
1982-09~1985-07,复旦大学物理系, 硕士
1978-09~1982-07,复旦大学物理系, 学士


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果（ 1 ）Implementation of Rigorous Coupled Wave Analysis Having Improved Efficiency for Characterization,2010,第 1 作者,专利号: US**
（ 2 ）Method and apparatus for phase-compensated sensitivity-enhanced spectroscopy (PCSES),2010,第 1 作者,专利号: US2010/**A1
（ 3 ）Method and apparatus for optically determining physical parameters of underlayers,2000,第 1 作者,专利号: US**
（ 4 ）Method and apparatus for optically determining miniature patterns,2001,第 1 作者,专利号: US**
（ 5 ）Graded anti-reflective coatings for photolithography,2002,第 1 作者,专利号: US**
（ 6 ）Surface profiling using a differential interferometer,2003,第 1 作者,专利号: US**
（ 7 ）Method and apparatus for examining features on semi-transparent and transparent substrates,2005,第 1 作者,专利号: US**
（ 8 ）Optical determination of pattern feature parameters using a scalar model having effective optical properties,2007,第 1 作者,专利号: US**
（ 9 ）ystem and method for efficient characterization of diffracting structures with incident plane parallel to grating lines,2008,第 2 作者,专利号: US**
（ 10 ）Apparatus and method for examining a disk-shaped sample on an x-y-theta stage,2008,第 1 作者,专利号: US**
（ 11 ）Broadband optical metrology with reduced wave front distortion, chromatic dispersion compensation and monitoring,2010,第 1 作者,专利号: US**
（ 12 ）一种器件内置式平移台,2010,第 2 作者,专利号: **8.2
（ 13 ）自动聚焦系统和自动聚焦方法,2010,第 1 作者,专利号: **4.X
（ 14 ）利用平面反射镜合光的成像系统,2010,第 2 作者,专利号: **4
（ 15 ）斜入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统,2011,第 1 作者,专利号: **4.2
（ 16 ）包含相位元件的斜入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统,2011,第 2 作者,专利号: **4.5
（ 17 ）垂直入射宽带光谱仪,2010,第 1 作者,专利号: **4.2
（ 18 ）垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统,2011,第 1 作者,专利号: **4.8
（ 19 ）Method and apparatus for optically determining physical parameters of thin films deposited on a complex substrate,2002,第 1 作者,专利号: US**
（ 20 ）Phase shift measurement using transmittance spectra,2007,第 1 作者,专利号: US**
（ 21 ）System and method for measuring overlay alignment using diffraction gratings,2007,第 1 作者,专利号: US**
（ 22 ）Efficient calculation of grating matrix elements for 2D diffraction,2009,第 2 作者,专利号: US**
（ 23 ）Efficient characterization of symmetrically illuminated symmetric 2-D gratings,2009,第 2 作者,专利号: US**

出版信息

发表论文（1） Correlated local distortions of the TlO layers in Tl2Ba2CuOy: an x ray absorption study, Phys. Rev. B, 1995, 第 1 作者
（2） XAFS Standards: A Comparison of theory and experiment, Phys. Rev. B, 1995, 第 1 作者
（3） Local distortions of the TlO layers in Tl based high temperature superconductors, Phys. Rev. B, 1994, 第 1 作者
（4） Local structure of Co and Fe substituted Yba2Cu3O7 studied by x ray absorption spectroscopy, Phys. Rev. B, 1993, 第 1 作者
（5） Multielectron x ray photoexcitation observations in XAFS background, Phys. Rev. Lett., 1992, 第 1 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）45-22nm OCD光学检测系统研发与产业化, 主持, 国家级, 2011-01--2013-12


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生