1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
李世光 女 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件： lishiguang@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向集成电路先导工艺与仪器装备技术

教育背景2000-09--2005-07 清华大学 工学博士
1993-09--1996-03 哈尔滨工业大学 工学硕士
1989-09--1993-07 哈尔滨工业大学 工学学士


学历

学位
工作经历

工作简历2011-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2010-03~2011-05,the University of North Carolina, USA, Post doctor
2005-12~2009-11,Singapore-MIT Alliance, Singapore, Research Fellow
2000-09~2005-07,清华大学, 工学博士
1996-04~1998-01,北京空间机电研究所, 助理工程师
1993-09~1996-03,哈尔滨工业大学, 工学硕士
1989-09~1993-07,哈尔滨工业大学, 工学学士


社会兼职2013-11-10-今,Laser in Engineering审稿人, 稿件审核
2013-11-07-今,Measurement审稿人, 稿件审核
2013-09-09-今,Chinese Optics Letters审稿人, 稿件审核
2010-09-05-今,Optics Express审稿人, 稿件审查

教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果（ 1 ）一种靶源预整形增强的极紫外光发生装置,2013,第 4 作者,专利号: **9
（ 2 ） 一种EUV光源污染物收集装置,2012,第 3 作者,专利号: **1
（ 3 ）偏振模色散补偿系统,2003,第 2 作者,专利号:**
（ 4 ）一种光学精密系统的对准装置,2014,第 4 作者,专利号: **6.0
（ 5 ）一种平凸透镜对心安装装置,2014,第 4 作者,专利号: **4.3
（ 6 ）一种调焦调平传感器测量装置,2014,第 2 作者,专利号: **2.3
（ 7 ）一种垂向调整装置,2014,第 5 作者,专利号: **8.8

出版信息

发表论文（1） Toward soft-tissue elastography using digital holography to monitor surface acoustic wave, Journal of Biomedical Optics, 2011, 第 1 作者
（2） Feasibility study on bonding quality inspection of microfluidic devices by optics coherence tomography, Journal of Biomedical Optics, 2011, 第 1 作者
（3） Measuring soft tissue elasticity by monitoring surface acoustic waves using image plane digital holography, Proc. SPIE 7965, 2011, 第 1 作者
（4） Measurement of buried undercut structures in microfluidic devices by laser fluorescent confocal microscopy, Applied Optics, 2009, 第 1 作者
（5） Microvalve thickness and topography measurements in microfluidic devices by white-light confocal microscopy, Applied optics, 2009, 第 1 作者
（6） Three-dimensional profile stitching based on the fiducial markers for microfluidic devices, Optics Communications, 2009, 第 2 作者
（7） Fusion of Metrology Data for High-Volume Large-Scale Manufacturing of Polymer-Based Micro？uidic Devices, International journal of nanomanufacturing, 2009, 第 3 作者
（8） Measurement Activities in Production of Microfluidic Devices, SMA 10th Anniversary Symposium, 2009, 第 1 作者
（9） Three dimensional sidewall measurements by laser fluorescent confocal microscopy, Optics express, 2008, 第 1 作者
（10） Review of production of microfluidic devices: material, manufacturing and metrology, Proc. SPIE 6993, 2008, 第 1 作者
（11） Moire fringe method for the measurement of distortions of hot-embossed polymeric substrates, SPIE 7155, 2008, 第 3 作者
（12） Microvalve Thickness Measurement in Multi-layer Microfluidic Devices with Chromatic Confocal Microscopy, 5th International Symposium on Nanomanufacturing, 2008, 第 1 作者
（13） Complete Surface Distinguishing and Overlapping Technology for Three-dimensional Image Processing of Micro Devices, 5th International Symposium on Nanomanufacturing, 2008, 第 2 作者
（14） Dimensional variation in production of high-aspect-ratio micro-pillars array by micro powder injection molding, Applied Physics A, 2007, 第 1 作者
（15） Complete polarization controller based on magneto-optic crystals and fixed quarter wave plates, Optics express, 2006, 第 3 作者
（16） Impact of polarization dependent loss on degree of polarization as feedback signal of polarization mode dispersion, Chinese Optics Letters, 2006, 第 3 作者
（17） Experimental mitigation of pulse distortion due to higher order polarization mode dispersion, Proc. SPIE 6025, 2006, 第 3 作者
（18） Compact first and second order polarization mode dispersion emulator, Chinese Optics Letters, 2005, 第 2 作者
（19） Polarization mode dispersion compensation experiments in 10 Gb/s and 40 Gb/s optical communication systems, Proc. SPIE 6021, 2005, 第 2 作者
（20） Compact optical roll angle sensor with large measurement range and high sensitivity, Optics letters, 2005, 第 1 作者
（21） Dynamic performance of magneto-optical Bi-substituted rare-earth iron garnet, Chinese optics letters, 2005, 第 1 作者
（22） Frequency dependence of polarization mode dispersion of crystal-based polarization mode dispersion compensator, Chinese Physics Letters, 2005, 第 1 作者
（23） Simple all-order polarization mode dispersion emulator in DWDM systems, Proc. SPIE 5625, 2005, 第 1 作者
（24） Compact first-order polarization mode dispersion compensator based on birefringent crystals, Chinese Physics Letters, 2004, 第 2 作者
（25） Feed-forward polarization mode dispersion compensation with a step control algorithm, Optics Communications, 2003, 第 3 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估, 参与, 国家级, 2012-01--2014-12


参与会议（1）Measuring soft tissue elasticity by monitoring surface acoustic waves using image plane digital holography Shiguang Li, Amy L. Oldenburg 2011-02-12
（2）Measurement Activities in Production of Microfluidic Devices Shiguang Li, Zhiguang Xu, Soon Fatt Yoon, etc 2009-01-21
（3）Moire fringe method for the measurement of distortions of hot-embossed polymeric substrates Hayden K. Taylor, Zhiguang Xu, Shiguang Li, Kamal Youcef-Toumi, etc 2008-09-29
（4）Review of production of microfluidic devices: material, manufacturing and metrology Shiguang Li, Zhiguang Xu, and etc 2008-04-08
（5）Microvalve Thickness Measurement in Multi-layer Microfluidic Devices with Chromatic Confocal Microscopy Shiguang Li, Todd Thorsen, Zhiguang Xu, etc 2008-01-23
（6）Simple all-order polarization mode dispersion emulator in DWDM systems Shiguang Li, Changxi Yang and Guofan Jin 2005-02-28

合作情况

项目协作单位
指导学生