1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
欧文 男 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件： ouwen@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向物联网与传感器技术

教育背景1989-09--1992-07 中国科技大学研究生院（北京） 硕士
1985-09--1989-07 浙江大学 学士


学历

学位
工作经历

工作简历2009-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
1997-07~1998-07,香港科技大学, 访问学者
1992-08~1997-07,中国科学院微电子中心, 助理研究员
1989-09~1992-07,中国科技大学研究生院（北京）, 硕士
1985-09~1989-07,浙江大学, 学士


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息（1）北京市科技进步奖,部委级,2005


专利成果（ 1 ） 红外焦平面阵列器件及其制作方法,2010,第 1 作者,专利号: **2.8
（ 2 ）非制冷红外探测器件及其制作方法,2010,第 1 作者,专利号: **3.0
（ 3 ）非平面结构的非挥发性存储器单元及制作方法,2003,第 1 作者,专利号: **.0
（ 4 ）嵌入式快闪存储器中隧穿氧化层的制备方法,2005,第 1 作者,专利号: **.2
（ 5 ）红外焦平面阵列器件及其制作方法,2010,第 1 作者,专利号: **7.8
（ 6 ）热电堆红外探测传感器及其制作方法,2010,第 1 作者,专利号: **1.8
（ 7 ）微透镜阵列及其制作方法,2011,第 2 作者,专利号: **1.6
（ 8 ）一种双面微透镜阵列及其制造方法,2011,第 2 作者,专利号: **6.7

出版信息

发表论文（1） 基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台, 红外与激光工程, 2014, 第 5 作者
（2） Fabrication of polyimide sacrificial layers with inclined sidewalls based on RIE technology, AIP Advances, 2014, 第 5 作者
（3） Nanopillar-forest based surface-enhanced Raman scattering substrates, SCIENCE CHINA Information Sciences, 2014, 第 5 作者
（4） Design of thermopile-based infrared detectors with suspended absorber-thermopile bi-layers, CHINESE JOUＲNAL OF SENSOＲS AND ACTUATOＲS, 2014, 第 5 作者
（5） SOI二极管型非制冷红外焦平面结构的改进设计, 红外与毫米波学报, 2014, 第 2 作者
（6） 一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器 , 传感技术学报, 2014, 第 5 作者
（7） Improved structure design for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, Journal of Infrared And Millimeter Waves, 2013, 第 2 作者
（8） Design and simulation of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, ？J. Micromech. Microeng, 2013, 第 2 作者
（9） Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer Technology, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 第 3 作者
（10） MEMS无源无线压力传感器研究, 仪表技术与传感器, 2013, 第 2 作者
（11） Design and Fabrication of Novel Microlens-micromirrors Array for Infrared Focal Plane Array, MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2012, 第 2 作者
（12） Fabrication of a 100percent fill factor silicon microlens array, 半导体学报, 2012, 第 2 作者
（13） 一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器, 红外技术, 2012, 第 2 作者
（14） Kinetics investigation of RIE lag phenomenon by GaAs ICP etching, China Semiconductor Technology International Conference 2012, 2012, 第 4 作者
（15） 基于黑硅为吸收层的热电堆红外探测器, 仪表技术与传感器, 2012, 第 3 作者
（16） A design of thermopile infrared detector based on black silicon as absorption, 传感技术学报, 2012, 第 3 作者
（17） CMOS 兼容的微机械热电堆红外探测器的设计, 红外技术, 2012, 第 3 作者
（18） “CF4预处理后热生长薄栅氧漏电流及势垒研究“, 半导体学报, 2004, 第 2 作者
（19） 闪速存储器的单管多位技术, 微电子学, 2004, 第 2 作者
（20） SCDI Flash Memory Device II：Experiments andCharacteristics, 半导体学报, 2004, 第 1 作者
（21） SCDI Flash Memory Device I：Simulation and Analysis, 半导体学报, 2004, 第 1 作者
（22） Flash 器件中氧化硅/氮化硅/氧化硅的特性, 半导体学报, 2003, 第 1 作者
（23） Novel nonplanar Flash Memory Device, 半导体学报, 2002, 第 1 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）集成电路与传感器集成制造与生产技术, 主持, 国家级, 2011-01--2015-12
（ 2 ）MEMS陀螺仪关键技术研究及典型产品研发, 主持, 省级, 2014-07--2017-06


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生