1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
欧毅 男 硕导 微电子研究所
电子邮件：ouyi@ime.ac.cn
通信地址：北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：100029


研究领域
招生信息

招生专业 微电子学与固体电子学



招生方向 MEMS
硅器件及集成技术

教育背景 2010-02--2011-02 英国南安普顿大学 访问学者
1998-09--2003-04 北京理工大学 博士
1993-09--1997-07 北京理工大学 本科


学历 北京理工大学 -- 研究生


学位 北京理工大学 -- 博士

工作经历

工作简历 2003-04--今 中科院微电子研究所 副研究员


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果 （1） 一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法，发明，2009，第1作者，专利号：ZL**1.3
（2） 一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法，发明，2007，第1作者，专利号：ZL**8.9
（3） 硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，发明，2007，第1作者，专利号：ZL**5.8
（4） 基于新牺牲层工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法，发明，2008，第3作者，专利号：ZL**9.1
（5） 一种双线圈推拉式射频微机电系统开关，实用新型，2008，第4作者，专利号：ZL**3.0
（6） 改善微机械非制冷红外成像芯片中反光板平整度的方法，发明，2009，第1作者，专利号：**7.4
（7） 微电力机械系统光学解复用器芯片的制备方法，发明，2008，第1作者，专利号：ZL**5.4
（8） 一种二氧化碳超临界干燥装置，实用新型，2008，第4作者，专利号：ZL**5.X
（9） 微电力机械系统可调谐光学滤波器芯片制备方法，发明，2008，第1作者，专利号：ZL**4.3
（10） 非接触式微电子机械系统红外温度报警器的制备方法，发明，2008，第1作者，专利号：**8.8
（11） 一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制作方法，发明，2009，第3作者，专利号：ZL**4.5
（12） 采用基于硅衬底突点制作及释放牺牲层的方法，发明，2008，第3作者，专利号：ZL**9.7

出版信息

发表论文

发表著作
科研活动

科研项目 （1） 微型飞行器智能蒙皮基础研究，主持，院级级，2007-01--2008-12
（2） MEMS柔性智能蒙皮，主持，研究所（学校）级，2006-10--2008-10
（3） MEMS多传感器及其阵列研究，参与，国家级，2005-07--2005-12
（4） 硅上有机发光显示器件及其物理研究，参与，国家级，2003-08--2008-12
（5） 反射式硅上液晶微显示材料及器件的研究，参与，国家级，2003-08--2008-12


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生已指导学生

何伟 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学

现指导学生

闫建华 硕士研究生 430109-电子与通信工程