彭春荣 男电子学研究所
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研究领域多年来一直从事微传感器及系统应用技术的创新性研究工作，研究方向主要包括：
MEMS（微电子机械系统）电场传感器技术及应用；
电学量（工业静电、电流电压）检测技术与器件；
谐振式微传感器；
微传感器芯片三维集成、封装与微系统；
微纳制造技术；
智能感知技术等。
教育背景 2004-03--2007-03 中国科学院大学 博士研究生/工学博士
2001-09--2004-03 北京航空航天大学 硕士研究生/工学硕士
1997-09--2001-07 北京信息科技大学 本科生/工学学士


学历研究生

学位博士
工作经历

工作简历 2007-03--今 中国科学院电子学研究所 副研究员


社会兼职 2015-05--今 全国微机电技术标准化技术委员会观察员
2013-12--今 中国电子学会高级会员

教授课程
专利与奖励

奖励信息 （1） 北京市科学技术发明奖，省级，2015
（2） 中国科学院卢嘉锡青年人才奖，院级级，2015
（3） 中国（国际）传感器创新大赛特等奖，特等奖，其他级，2014
（4） 第十六届中国国际工业博览会银奖，二等奖，其他级，2014
（5） 教育部科学技术进步一等奖，一等奖，部委级，2012
（6） 中国科学院院长优秀奖，院级级，2006


专利成果 （1） 一种微型三维电场传感器，发明，2011，第4作者，专利号：ZL**2.6
（2） 微型电场传感器的封装结构与封装方法，发明，2012，第1作者，专利号：ZL **8.8
（3） 异型微型电场传感器，发明，2013，第3作者，专利号：ZL**3.5
（4） 阵列式微型电场传感器，发明，2008，第4作者，专利号：ZL**0.5
（5） 一种三维空中电场传感器，发明，2013，第4作者，专利号：ZL**0.3
（6） 谐振式微型电场传感器，发明，2012，第1作者，专利号：ZL**9.2
（7） 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器，发明，2008，第2作者，专利号：ZL**0.4

出版信息

发表论文 （1） 谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试，电子与信息学报，2015，第2作者
（2） Three Dimensional Electric Field Measurement Method Based on Coplanar Decoupling Structure，IEEE Sensors Conference，2014，第3作者
（3） 基于LabVIEW和MEMS敏感结构的工频电场无线检测系统，仪表技术与传感器，2014，第2作者
（4） High performance electric field micro sensor with combined differential structure，Journal of Electronics (China)，2014，第2作者
（5） High-stability electrostatic field micro sensor for sounding thunderstorm applications[J]，Instrumentation，2014，第2作者
（6） Design of a novel micromachined non-contact resonant voltage sensor for power distribution systems，IEEE Sensors Conference，2014，第1作者
（7） High performance electric field micro sensor with combined differential structure[J]，Journal of Electronics (China)，2014，第2作者
（8） 基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法[J]，电子与信息学报，2014，第2作者
（9） A new fabrication process for the soi-based miniature electric field sensor，Journal of Semiconductors，2013，第3作者
（10） 基于直接数字频率合成器及正交锁相技术的交直流微型电场传感器电路，电子与信息学报，2013，第2作者
（11） Design, fabrication and application of an SOI-based resonant electric field microsensor with coplanar comb-shaped electrodes，J. Micromech. Microeng.，2013，第2作者
（12） Humidity-Induced Charge Leakage and Field Attenuation in Electric Field Microsensors，Sensors ，2012，第4作者
（13） SOI微型电场传感器的设计与测试，电子与信息学报，2011，第2作者
（14） A high sensitivity SOI electric-field sensor with novel comb-shaped microelectrodes，16th International Conference on Solid-State Sensors, ActuatorsMicrosystems(Tranducers 2011)，2011，第2作者
（15） Measuring Atmospheric Electric Field Using Novel Micromachined Sensor， IEEE NEMS 2011，2011，第1作者
（16） Detecting internal defect of non-ceramic insulators using a novel micromachined electric field sensor，The 24th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2011)，2011，第1作者
（17） Design of a SOI MEMS Resonant Electric Field Sensor for Power Engineering Applications，IEEE Sensors Conference，2010，第1作者
（18） 新型推挽激励的谐振式微机械静电场传感器，纳米技术与精密工程，2010，第1作者
（19） 热驱动微型电场传感器干燥技术，传感技术学报，2010，第4作者
（20） Design of A Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor，Procedia Engineering 5，2010，第1作者
（21）Design of a novel MEMS electric field sensor for detecting internal defect of non-ceramic insulators，2nd International Conference (12th Annual Conference)of the Chinese Society of Micro-Nano Technology，2010，第1作者
（22） A novel micro-electrostatic field sensor based on parallel-plate resonator，4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems，2009，第1作者
（23） 一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器，电子与信息学报，2009，第2作者
（24） 非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪，仪表技术与传感器，2009，第1作者
（25） 基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制，仪表技术与传感器，2009，第2作者
（26） 微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法，仪表技术与传感器，2009，第3作者
（27） Design of a thermally drivenresonantminiature electric fieldsensorwith feedback control，The 3rd IEEE International Conference on Nao/Micro Engineered and Molecular Systems，2008，第2作者
（28） Design of a Resonant Miniature Electrostatic Field Sensor with Feedback Driving and Detection，IEEE -NEMS Conference，2006，第1作者
（29） 两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用，半导体学报，2006，第3作者
（30） 一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造，电子器件，2006，第2作者
（31） A Micromachined Electrostatic Field Sensor with Vertical Thermal Actuator，IEEE Sensors Conference，2006，第2作者
（32） Thermally Driven Miniature Electric Field Sensor，Proceedings of the 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems，2006，第2作者
（33） Thermally driven micro electrostatic fieldmeter，Sensors and Actuators A ，2006，第2作者
（34） A Novel High Performance Micromechanical Resonant Electrostatic Field Sensor Used In Atmospheric Electric Field Detection，Proceedings IEEE The Nineteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems，2006，第1作者
（35） Design and Testing of a Micromechanical Resonant Electrostatic Field Sensor，J. Micromech. Microeng.，2006，第1作者
（36） 一种热驱动微型电场传感器设计与仿真，《中国机械工程》增刊，2005，第4作者
（37） A Novel Miniature Interlacing Vibratin Electric Field Sensor，IEEE Sensors Conference，2005，第3作者
（38） A resonant miniature electric field sensor using bulk-micromachining process，Progress in Natural Science，2005，第4作者
（39） 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器，《中国机械工程》增刊，2005，第1作者
（40） 热驱动微型电场传感器，《中国机械工程》增刊，2005，第2作者


发表著作
科研活动

科研项目 （1） 微纳系统三维异质集成化技术-微型电场传感器集成及耦合干扰抑制研究，主持，国家级，2015-03--2018-03
（2） 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电场传感器，主持，国家级，2015-01--2016-12
（3） 基于微电场传感器的非接触式电压测量技术研究及装置开发，主持，院级级，2014-11--2015-12
（4） MEME电场传感器通用规范，主持，国家级，2014-03--2015-12
（5） 分布式三维大气电场探测系统，参与，国家级，2014-01--2018-12
（6） 空中电场集成探测传感器技术，参与，国家级，2012-01--2015-12


参与会议 （1） MEMS电场传感器关键技术及其应用，第九届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会暨2015’ 全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会,第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会，2015-07，夏善红，彭春荣

合作情况

项目协作单位
指导学生
招生信息

招生专业 微电子学与固体电子学



招生方向 传感器与微系统技术