基本信息
申华军 男 硕导 微电子研究所
电子邮件：shenhuajun@ime.ac.cn
通信地址：北京市朝阳区北土城西路3号A409
邮政编码：100029


研究领域新型SiC电力电子器件，硅基光子集成技术与器件应用，微波器件与电路设计。

招生信息

招生专业 微电子学与固体电子学



招生方向 射频、微波器件与电路集成技术
射频、微波器件与集成电路
硅基光电器件与集成技术
教育背景 2003-09--2006-07 中国科学院微电子研究所 博士研究生


学历 中国科学院微电子研究所 -- 研究生


学位 中国科学院微电子研究所 -- 博士

工作经历

工作简历 2010-09--今 中国科学院微电子研究所 工作
2009-09--2010-08 美国加州大学，洛杉矶分校 访问学者
2006-07--2009-08 中国科学院微电子研究所 工作


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果 （1） 一种硅纳米光波导与光纤的耦合封装方法，发明，2010，第1作者，专利号：**5.5
（2） 一种斜面光接收的光电探测器，发明，2009，第1作者，专利号：**4.7
（3） 一种采用多模干涉耦合的光延时器，发明，2010，第2作者，专利号：**4.3
（4） 一种接收有源区位于斜面上的光电探测器的制造方法，发明，2010，第1作者，专利号： **9.8
（5） 带光纤定位槽的斜面接收光电探测器及其阵列的制作方法，发明，2009，第1作者，专利号：**3.4
（6） 基于自准直效应的光子晶体偏振分束器结构，发明，2011，第2作者，专利号：**3.5
（7） 硅基光电异质集成方法及硅基光电异质集成芯片，发明，2011，第3作者，专利号：**1.1
（8） 具有阶梯状V型槽结构的硅基光学基板及其制作方法，发明，2011，第2作者，专利号：**4.4
（9） SiC肖特基二极管及其制作方法，发明，2011，第2作者，专利号：**7.7
（10） 一种光传感总磷检测系统及检测方法，发明，2011，第3作者，专利号：**8.X
（11） 具有可插拔结构的透镜光纤、透镜光纤阵列及其制备方法，发明，2011，第4作者，专利号：**0.4
（12） 一种应用于总磷检测的倏逝波光传感测试系统及方法，发明，2010，第5作者，专利号：**2.3
（13） 多能离子注入实现阶梯状掺杂浓度分布的方法，发明，2011，第2作者，专利号：**6.3
（14） 一种测量高Al组分AlGaN材料刻蚀诱生界面态参数的方法，发明，2012，第2作者，专利号：**7X
（15） 防止钝化层过刻蚀的方法，发明，2011，第2作者，专利号：**64
（16） 一种在SiC衬底背面制备欧姆接触的方法，发明，2013，第2作者，专利号：**15
（17） 一种SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法，发明，2012，第3作者，专利号：**1X
（18） 一种三层复合离子注入阻挡层及其制备、去除方法，发明，2011，第2作者，专利号：**55
（19） 一种50nm及以下的硅栅结构的制作方法，发明，2010，第5作者，专利号：**2.6
（20） 一种实现P型SiC材料低温欧姆合金退火的方法，发明，2012，第3作者，专利号：**23
（21） 用于P-SiC欧姆接触的界面过渡层复合结构及其制备方法，发明，2012，第3作者，专利号：**44
（22） 一种在SiC材料上生长SiO2钝化层的方法，发明，2011，第2作者，专利号：**19
（23） 一种SiC肖特基二极管及其制作方法，发明，2012，第3作者，专利号：**18
（24） SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法，发明，2011，第2作者，专利号：**22
（25） 一种具有增益的紫外探测器结构及其制备方法，发明，2012，第2作者，专利号：**9X

出版信息

发表论文 （1） Influence of annealing temperature on the degree of inhomogeneous Schottky barrier in Ti/4H-SiC contacts，中国物理 B，2014，通讯作者
（2） 采用Ni/Ti/Ni多层金属在N型4H-SiC衬底改善粘附性和界面的欧姆接触，Improved adhesion and interface ohmic contact on n-type 4H-SiC substrate by using Ni/Ti/Ni，半导体学报，2014，通讯作者
（3） Influences of high-temperature annealing on atomic layer deposited Al_2 O_3/4H-SiC，Chinese Physics B，2013，通讯作者
（4） Effect of Annealing on the Characteristics of Pd/Au Contacts to p-Type GaN/Al0.45Ga0.55N，Journal of Electronic Materials，2012，第3作者
（5） Uneven splitting-ratio 1×2 multimode interference splitters based on silicon wire waveguides，Chinese Optics Letters，2011，第2作者
（6） Charge-carrier dynamics in hybrid plasmonic organic solar cells with Ag nanoparticles，Applied Physics Letters ，2011，第4作者
（7） Compact 2X2 Multi-Mode Interference Couplers with Uneven Splitting-Ratios，Chinese Physics Letters，2011，第2作者
（8） Plasmonic effects for light concentration in organic photovoltaic thin films induced by hexagonal periodic metallic nanospheres，Applied Physics Letters，2011，第3作者
（9） Design and fabrication of an ultra-compact multimode interference splitter integrated with silicon photonic wires，Chinese Optics Letters，2009，第2作者
（10） Edge-View-Photodetector for Optical Interconnects，Optics Letters，2007，第2作者
（11） 发射机空气桥InGaP/GaAs HBT的DC和RF特性分析，电子器件，2007，第1作者
（12） C波段3.5W／mm,PAE＞40％的InGaP／GaAs HBT功率管，半导体学报，2006，第1作者
（13） GaAs MMIC用无源元件的模型，半导体学报，2006，第1作者


发表著作
科研活动

科研项目 （1） SiC电力电子器件集成制造技术研发与产业化，参与，专项级，2013-01--2017-12
（2） 介质碳化硅界面调控的机理与方法研究，主持，国家级，2012-01--2014-12
（3） SiC SBD器件研制，主持，市地级，2011-04--2013-12
（4） SiC MOSFET器件研制，主持，市地级，2011-04--2013-12
（5） 超快光谱变换与控制机制及多信道全光码型变换集成芯片研究，参与，国家级，2011-01--2015-08
（6） 纳米效应集成光波导敏感机理与方法研究，参与，国家级，2009-01--2013-08


参与会议 （1） Absorption and transport enhancement by metal nanoparticle plasmonics for organic optoelectronics，2010-06，Mei Xue, Huajun Shen, Jack J. Ho, Jinfeng Zhu, Seongku Kim, and K. L. Wang

合作情况

项目协作单位
指导学生现指导学生

于海龙 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学

彭朝阳 硕士研究生 080903-微电子学与固体电子学