1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
唐燕 女 硕导 中国科学院光电技术研究所
电子邮件： ty0513@163.com
通信地址： 四川成都双流350信箱
邮政编码：
研究领域
招生信息

招生专业080300


招生方向微电子装备关键技术

教育背景2005-09--2010-07 四川大学 工学博士
2001-09--2005-07 四川大学 工学学士


学历

学位
工作经历

工作简历2010-08~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2005-09~2010-07,四川大学, 工学博士
2001-09~2005-07,四川大学, 工学学士


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果（ 1 ）一种复合光栅纳米光刻自动对准系统,2015,第 2 作者,专利号: **0.1
（ 2 ）基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法,2014,第 1 作者,专利号: **1.0
（ 3 ）一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统,2015,第 2 作者,专利号: **6.2

出版信息

发表论文（1） A Moire-Based Four-Channel Focusing and Leveling Scheme for Projection Lithography, IEEE Photonics, 2014, 第 5 作者
（2） Influence of Collimation on Alignment Accuracy in Proximity Lithography, IEEE Photonics Journal, 2014, 第 4 作者
（3） Collimation Sensing With Differential Grating and Talbot Interferometry, IEEE Photonics Journal, 2014, 第 2 作者
（4） A hybrid doubled achromat based on a photon, optik, 2014, 第 3 作者
（5） Focusing property of high numerical aperture photon sieves based on vector diffraction, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 第 1 作者
（6） Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography, Optics and Lasers in Engineering, 2013, 第 4 作者
（7） Alignment method based on matched dual-grating moiré fringe for proximity lithography, Optical Engineering, 2012, 第 4 作者
（8） 大数值孔径光子筛偏振特性研究, 光学学报, 2012, 第 1 作者
（9） 准相位型光子筛设计, 光学学报, 2012, 第 1 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）基于相位偏折原理的高精度整场检焦方法研究, 主持, 国家级, 2012-01--2015-12
（ 2 ）微纳流控芯片加工设备研制, 主持, 部委级, 2012-01--2015-12
（ 3 ）超分辨光刻装备研制, 参与, 国家级, 2012-01--2015-12


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生