1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
吴衍青 男 硕导 中国科学院上海应用物理研究所
电子邮件： wuyanqing@sinap.ac.cn
通信地址： 浦东新区张衡路239号
邮政编码：
研究领域
招生信息

招生专业070207


招生方向X射线干涉光刻

教育背景1994-09--2000-04 中科院上海光机所 博士
1988-09--1992-07 复旦大学 学士


学历

学位
工作经历

工作简历2004-07~现在, 中科院上海应物所, 组长
2001-11~2004-02,韩国浦项工大, 博士后
2001-01~2001-11,复旦大学, 博士后
1994-09~2000-04,中科院上海光机所, 博士
1992-07~2000-12,中科院上海光机所, 助理研究员/博士
1988-09~1992-07,复旦大学, 学士


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果
出版信息

发表论文（1） A new extra-focus monochromator designed for high-performance VUV beamlines, Journal of Synchrotron Radiation, 2015, 第 5 作者
（2） Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2015, 第 5 作者
（3） Design of an ultrahigh-energy-resolution and wide-energy-range soft X-ray beamline, journal of synchrotron radiation, 2014, 第 3 作者
（4） 上海光源软 X 射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究, Investigation on the coherence of undulator source and soft X-ray interference lithography beamline in SSRF, 核 技 术, 2013, 第 5 作者
（5） Effects of missing low-frequency information on ptychographic and plane-wave coherent diffraction imaging, Applied Optics, 2013, 第 4 作者
（6） 同步辐射光束线中部分相干光的传播研究, 光学学报, 2013, 第 5 作者
（7） The design, fabrication and performance of a large area 10000 line/mm metal transmission diffraction gratings for soft X-ray , Acta Physica Sinica, 2008, 第 2 作者
（8） 13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计, Optimized Design of Transmission Grating Used for 13.4 nm Soft X-Ray Interference Lithography, 光学学报, 2008, 第 2 作者
（9） 基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计, An optimized design of the XIL beam splitter grating combining advanced silicon etching with silicon oxidation technology , 核技术, 2008, 第 2 作者
（10） 离子振荡对低压脉冲负电性放电条件的影响, 物理学报, 2006, 第 1 作者
（11） The Control of Laser-Plasma Parametric Instabilities with Ultrabroad Bandwidth Frequency Modulated Laser Pulse, Plasma Physics and Controlled Fusion, 2001, 第 1 作者
（12） Radiative Cooling Instability in Large Scale Line-shaped Laser Plasma, Chinese Physics Letter, 1997, 第 1 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）中科院大科学装置维修改造项目-软X射线干涉光刻分支线站的建设, 参与, 部委级, 2009-05--2011-10
（ 2 ）基于新型宽带相干光学技术的软X射线干涉光刻, 主持, 国家级, 2013-01--2016-12
（ 3 ）中国科学院大科学装置开放研究项目, 参与, 研究所（学校）, 2011-01--2015-06


参与会议（1）VUV Extra-focus Principle and its Application to High-performance Grating Monochromators Chaofan Xue, Yanqing Wu,* Ying Zou, Lian Xue, Yong Wang, Renzhong Tai 2015-07-06
（2）Current Status of SSRF Dreamline Yanqing Wu, yong Wang, Tairenzhong, et al 2012-08-10

合作情况

项目协作单位
指导学生