基本信息
邢廷文 男 博导 光电技术研究所
电子邮件：xingtw@ioe.ac.cn
通信地址：四川省成都市双流350信箱二室
邮政编码：610209


研究领域
招生信息

招生专业 光学工程



招生方向 微电子光学技术
光学仪器

教育背景 1995-06--1996-09 大学 日本进修
1985-09--1988-06 中国科学院光电技术研究所 硕士
1981-09--1985-06 华中科技大学 学士


学历-- 研究生


学位 中科院光电所 1985** 理学硕士学位

工作经历

工作简历 1999-10--今 中国科学院光电技术研究所 室主任
1996-10--1999-09 日本非球面公司 工程师
1988-07--1995-05 中国科学院光电技术研究所 副研究员


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果 （1）一种激光准直扩束系统，发明，2014，第2作者，专利号：**6.5
（2）一种偏振纯化装置，发明，2014，第2作者，专利号：**1.2
（3）一种投影光学系统 ，发明，2015，第2作者，专利号：**5.9
（4） 一种精密夹具，发明，2014，第2作者，专利号：**9.5
（5） 一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法，发明，2014，第2作者，专利号： **8
（6）一种光学变形镜系统，发明，2015，第2作者，专利号： **2
（7） 一种移动平台，发明，2014，第3作者，专利号：**5.X
（8）一种光束偏振度测量装置和方法 ，发明，2014，第3作者，专利号：**1.7
（9）一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法，发明，2015，第3作者，专利号： **0.0
（10） 一种高分辨率投影光学系统，发明，2014，第2作者，专利号：**2.4
（11） 一种非球面光刻耦合物镜 ，发明，2015，第2作者，专利号： **0.3
（12） 一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 ，发明，2015，第2作者，专利号：**8.6
（13） 一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统，发明，2014，第2作者，专利号：**0.3

出版信息

发表论文 （1） 国外高变焦比中波红外镜头的研究进展，红外与激光工程，2015，第2作者
（2） 长焦距高分辨率红外两档变焦光学系统设计，红外与激光工程，2014，第2作者
（3） Design of twin computer-generated hologram for absolute testing of aspheric surfaces，SPIE，2014，第3作者
（4） Dynamic compensation for the lithographic object lens，SPIE，2014，第2作者
（5） Aberration functions expanding in Zernike polynomial for lithographic lens，SPIE ，2014，第3作者
（6） The impact of polarization on grating performance of the lateral shearing interferometer，SPIE，2014，第3作者
（7） 小型一体式次镜支架结构优化设计，红外与激光工程，2014，第2作者
（8） Two-dimension lateral shearing interferometry for microscope objective wavefront metrology，SPIE，2014，第2作者
（9） 国外红外光谱连续变焦成像系统的研究进展，光谱学与光谱分析，2014，第2作者
（10） 铝镜消应力支撑及SPDT辅助装配设计，光电工程，2014，第2作者
（11） 薄型折反系统布局及金属主镜安装影响分析，红外与激光工程，2014，第2作者
（12） 微反射镜阵列在光束整形中的应用，红外与激光工程，2014，第2作者
（13） 具有变视场性能的中红外光谱系统设计与研究，光谱学与光谱分析，2014，第2作者
（14） Source optimization using simulated annealing algorithm，SPIE ，2014，第2作者


发表著作 （1） 光学投影曝光微纳加工技术，无，北京工业大学出版社，2006-12，第3作者

科研活动

科研项目 （1） 02专项，主持，部委级，2009-07--2016-06


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生已指导学生

廖志杰 博士研究生 080300-光学工程

杨帆 硕士研究生 080300-光学工程

黄智强 硕士研究生 080300-光学工程

程冠晓 博士研究生 080300-光学工程

贾辛 硕士研究生 080901-物理电子学

廖志远 博士研究生 080300-光学工程

何国良 硕士研究生 080300-光学工程

舒亮 硕士研究生 081002-信号与信息处理

曾立 硕士研究生 081002-信号与信息处理

龙波 博士研究生 080300-光学工程

王万平 博士研究生 080300-光学工程

魏豪明 硕士研究生 080300-光学工程

徐富超 硕士研究生 080300-光学工程

贾辛 博士研究生 080300-光学工程

王瑞林 硕士研究生 080300-光学工程

刘勇 硕士研究生 081203-计算机应用技术

李云 博士研究生 080300-光学工程

王宁 硕士研究生 080300-光学工程

段沽坪 硕士研究生 081102-检测技术与自动化装置

许嘉俊 博士研究生 080300-光学工程

倪磊 博士研究生 080300-光学工程

杨丽娟 硕士研究生 085202-光学工程

殷可为 博士研究生 080300-光学工程

冯婕 博士研究生 080300-光学工程

黄杨 硕士研究生 080300-光学工程

江海波 博士研究生 080300-光学工程

现指导学生

朱红伟 博士研究生 080300-光学工程

白瑜 博士研究生 080300-光学工程

刘志祥 博士研究生 080300-光学工程

王跃强 博士研究生 080300-光学工程

卢亮 博士研究生 080300-光学工程

周超 博士研究生 080300-光学工程

姚政鹏 博士研究生 080300-光学工程

吕保斌 博士研究生 080300-光学工程

于欢 硕士研究生 080300-光学工程

黄智强 博士研究生 080300-光学工程

何毅 博士研究生 080300-光学工程