1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
熊斌 男 博导 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： bxiong@mail.sim.ac.cn
通信地址： 长宁路865号
邮政编码： 200050
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向MEMS及相关技术

教育背景

学历

学位
工作经历

工作简历

社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息（1）基于工艺选择性的MEMS三维制造关键技术与设计方法,部委级,2012


专利成果
出版信息

发表论文（1） Extending of band gaps in silicon based one-dimensional phononic crystal strips, Applied Physics Letters, 2013, 第 4 作者
（2） Resonant Magnetic Field Sensor With Capacitive Driving and Electromagnetic Induction Sensing, IEEE Electron Device Letters , 2013, 第 3 作者
（3） A Wide Measurement Pressure Range CMOS-MEMS Based Integrated Thermopile Vacuum Gauge With an XeF2 dry etching process, Sensorsand Actuators APhysical, 2013, 第 4 作者
（4） Effect of air damping on quality factor of bulk mode microresonators, Microelectronic Engineering, 2013, 第 3 作者
（5） Wafer-Level Vacuum Packaging for Microsystems Using Glass Frit Bonding, IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology, 2013, 第 4 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）CMOS MEMS 集成技术研究, 主持, 国家级, 2011-01--2014-12
（ 2 ）MEMS 工程化制造验证技术及应用, 主持, 国家级, 2012-01--2014-12
（ 3 ）MEMS 压阻器件规模制造技术基础研究, 参与, 国家级, 2011-01--2015-12


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生