1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
薛虹 男 汉族 硕导 电工研究所
电子邮件：xuehong@mail.iee.ac.cn
联系电话：**
手机号码：
通信地址：北京市海淀区中关村北2条6号
邮政编码：100080

研究领域长期从事微电子专用设备电子束曝光机系统的研究工作。主要研究工作的领域：系统总体设计，电气控制、计算机控制、真空系统控制、激光工件台控制、定位技术等方面，并负责总体调试和曝光工艺试验。
招生信息

招生专业

招生方向
教育背景

学历同济大学1978**大学毕业


学位同济大学1978**工学学士学位


出国学习工作
工作经历

工作简历

社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果
出版信息

发表论文

发表著作
科研活动

科研项目曾参加过国家“七五”重大科技攻关项目“DJ-2”可变矩形电子束曝光机研制；中国科学院“八五”重大项目“深亚微米电子束曝光机”的研制；在中国科学院“九五”重大项目“0.1微米电子束曝光实验装置的研制”中任项目负责人。目前从事中国科学院重大创新试点项目“缩小投影电子束曝光系统”的研究工作。

参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生王蕴 硕士研究生 080821-微纳电工技术 80148-电工研究所

徐哲 硕士研究生 080804-电力电子与电力传动 80148-电工研究所