1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
杨恒 男 博导 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： h.yang@mail.sim.ac.cn
通信地址： 长宁路865号
邮政编码： 200050
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向微纳机电加工

教育背景

学历

学位
工作经历

工作简历

社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果（ 1 ）一种多晶硅应力传感器及其制作方法,2013,第 3 作者,专利号: **4.1
（ 2 ）多层多采集点的起重机械结构健康监测系统,2013,第 2 作者,专利号: **94
（ 3 ）一种压阻式加速度传感器及其制作方法,2014,第 1 作者,专利号: **2.8
（ 4 ）一种压阻式加速度传感器及其制作方法,2014,第 1 作者,专利号: **3.1

出版信息

发表论文（1） Symmetrical design in piezoresistive sensing for micromechanical resonator, Microsystem technologies, 2015, 第 5 作者
（2） A novel approach for MEMS with galvanic protection on SOI wafer, Microsystem Technologies, 2014, 第 5 作者
（3） Field-effect piezoresistors for vibration detection of nanobeams by using monolithically integrated MOS capacitors, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 第 5 作者
（4） Nanofabrication, effects and sensors based on micro-electro-mechanical systems technology, Philosophical Transactions of the Royal Society, 2013, 第 3 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）大型起重机械用微纳传感监控系统研制及工程示范, 主持, 国家级, 2013-01--2015-12
（ 2 ）用于三维微系统原位测试的传感器技术, 主持, 国家级, 2012-01--2015-12
（ 3 ）先进RF MEMS 工艺技术和硅基振荡器产品开发, 参与, 省级, 2013-06--2015-06


参与会议（1）Study on Silicon Oscillators for Timing Applications Heng Yang, Xinxin Li 2015-02-20
（2）Fabrication of z-axis accelerometer with galvanic etch stop and antifuse isolation Xiang Jiang, Heng Yang, Yanhong Wu, Xinxin Li, Yuelin Wang 2013-11-03
（3）硅基MEMS技术现状与发展趋势 杭州（国际）物联网传感技术高峰论坛 杨恒，李昕欣 2013-10-23
（4）A Transfer Technique of stress sensors for versatile applications C. Dou, H. Yang, Y. Wu, X. Li, Y. Wang 2013-04-07

合作情况

项目协作单位
指导学生