1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
殷华湘 男 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件: yinhuaxiang@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029
研究领域
招生信息
招生专业080903
招生方向集成电路先导工艺与仪器装备技术
教育背景2000-03--2003-03 中国科学院微电子研究所 博士学位1996-09--1999-07 中国科学院微电子研究所 硕士学位1992-09--1996-07 天津大学 学士学位
学历
学位
工作经历
工作简历2010-08~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员2003-07~2010-07,韩国三星电子(集团)综合技术院, 高级研究员2000-03~2003-03,中国科学院微电子研究所, 博士学位1996-09~1999-07,中国科学院微电子研究所, 硕士学位1992-09~1996-07,天津大学, 学士学位
社会兼职
教授课程
专利与奖励
奖励信息(1)极大规模集成电路关键技术研究集体,国家级,2014
专利成果( 1 )浅沟槽隔离及其形成方法,2011,第 1 作者,专利号: **0.5 ( 2 )平坦化层间电介质的回刻方法,2011,第 2 作者,专利号: **8.6 ( 3 )可调节沟道应力的器件与方法,2011,第 1 作者,专利号: PCT/CN2011/000278( 4 )半导体器件的制造方法,2011,第 1 作者,专利号: PCT/CN2011/071060( 5 )可调节沟道应力的器件与方法,2010,第 1 作者,专利号: **3.X ( 6 )SOG与光致抗蚀剂的反应离子刻蚀方法,2010,第 1 作者,专利号: **5.3( 7 )层间电介质层的平面化方法,2010,第 1 作者,专利号: **4.0 ( 8 )向沟道中引入应变的方法和使用该…,2011,第 1 作者,专利号: **8.8( 9 )半导体器件及制造方法,2011,第 1 作者,专利号: **6.7( 10 )层间电介质层的平面化方法,2011,第 1 作者,专利号: PCT/CN2011/071056 ( 11 )半导体器件的制造方法,2010,第 1 作者,专利号: **9.9( 12 )一种半导体结构及其制造方法,2011,第 1 作者,专利号: **9.8( 13 )牺牲栅去除方法及栅堆叠制作方法,2011,第 2 作者,专利号: **3.3 ( 14 )METHOD OF INTRODUCING STRAIN INTO CHANNEL AND DEVICE MANUFACTURED BY USING THE METHOD,2014,第 1 作者,专利号: US 8,748,272( 15 )Semiconductor Device and Manufacturing Method thereof,2015,第 1 作者,专利号: US 8,754,482( 16 )SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME,2015,第 1 作者,专利号: US 8,853,024
出版信息
发表论文(1) Self-Aligned Fin-On-Oxide (FOO) FinFETs for Improved SCE Immunity and Multi-VTH Operation on Si Substrate, ECS Solid State Letters, 2015, 第 5 作者(2) Structure design and film process optimization for metal-gate stress in 20 nm nMOS devices, Journal of Semiconductors, 2013, 第 5 作者(3) CMP-Less Planarization Technology with SOG/LTO Etchback for Low-Cost High-k/Metal Gate-Last Integration, ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2013, 第 5 作者(4) Low-Temperature-Grown Transition Metal Oxide Based Storage Materials and Oxide Transistors for High-Density Non-volatile Memory, Advanced Functional Materials, 2009, 第 4 作者(5) Double gate GaInZnO thin film transistors, Applied Physics Letters, 2008, 第 2 作者(6) Short Channel Characteristics of Gallium–Indium–Zinc–Oxide Thin Film Transistors for Three-Dimensional Stacking Memory, IEEE Electron Device Letters, 2008, 第 3 作者(7) Program/Erase Characteristics of Amorphous Gallium Indium Zinc Oxide Nonvolatile Memory, IEEE Transactions on Electron Devices, 2008, 第 1 作者(8) Fully transparent nonvolatile memory employing amorphous oxides as charge trap and transistors channel layer, Applied Physics Letters, 2008, 第 1 作者(9) Scalable 3-D Fin-Like Poly-Si TFT and Its Nonvolatile Memory Application, IEEE Transactions on Electron Devices, 2008, 第 1 作者
发表著作
科研活动
科研项目( 1 )22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设, 参与, 国家级, 2009-01--2014-04( 2 )16纳米硅基三维器件复合应变沟道集成, 主持, 市地级, 2011-01--2014-01( 3 )集成电路关键技术研究, 主持, 部委级, 2011-01--2014-01( 4 )体硅FinFET 与关键工艺研究, 主持, 国家级, 2013-01--2015-12( 5 )先进同步辐射探测技术, 参与, 部委级, 2013-01--2016-12( 6 )用于同步辐射的硅像素探测器关键技术研究, 参与, 国家级, 2014-01--2018-12
参与会议(1)Diamond Like Carbon Thin Films with Extremely High Compressive Stress 8-12GPa for Advanced CMOS Strain Engineering 国际材料大会(春季) Xiaolong Ma 2013-04-09(2)CMPless Planarization Technology with SOG/LTO Etchback for Low Cost 70nm Gate-Last Process 中国国际半导体技术大会 Huaxiang Yin, Lingkuan Men, Tao Yang, Gaobo Xu, Qiuxia Xu, Chao Zhao and 2011-03-13(3)High performance low voltage amorphous oxide TFT Enhancement/Depletion inverter through uni-/bi-layer channel hybrid integration 国际电子器件大会 Huaxiang Yin, Sunil Kim, Jaechul Park, Ihun Song, Sang-Wook Kim, Jihyun Hur, Sungho Park, Sanghun Jeon, Chang Jung Kim 2009-12-07(4)Bootstrapped ring oscillator with propagation delay time below 1.0 nsec/stage by standard 0.5μm bottom-gate amorphous Ga2O3-In2O3-ZnO TFT technology 国际电子器件大会 Huaxiang Yin, Sunil Kim, Chang Jung Kim, Jae Chul Park, Ihun Song, Sang-Wook Kim, Sung-Hoon Lee, Youngsoo Park, 2008-12-15
合作情况
项目协作单位
指导学生
删除或更新信息,请邮件至freekaoyan#163.com(#换成@)
中国科学院大学研究生导师简介-殷华湘
中国科学院大学 免费考研网/2016-05-09
相关话题/微电子研究所 中国科学院 制造 技术 集成电路
北京大学软件与微电子学院2016年计算机技术硕士专业学位研究生招生简章
北京大学软件与微电子学院是经教育部、国家计委批准成立的国家示范性软件学院,也是教育部、发改委和科技部等六部委批准建设的国家示范性微电子学 院。学院设有电子与信息领域工程博士点,工程管理硕士点,软件工程、集成电路工程、项目管理、工业设计、电子与通信工程、计算机技术等6个领域的 ...北京大学招生简章 本站小编 免费考研网 2016-05-10北京大学软件与微电子学院2016年集成电路工程硕士专业学位研究生招生简章
北京大学软件与微电子学院是经教育部、国家计委批准成立的国家示范性软件学院,也是教育部、发改委和科技部等六部委批准建设的国家示范性微电子学 院。学院设有电子与信息领域工程博士点,工程管理硕士点,软件工程、集成电路工程、项目管理、工业设计、电子与通信工程、计算机技术等6个领域的 ...北京大学招生简章 本站小编 免费考研网 2016-05-102015年北京大学计算机科学技术研究所优秀大学生夏令营通知(第一轮)
北京大学计算机科学技术研究所优秀大学生夏令营是由北京大学计算机科学技术研究所组织,针对计算机应用技术专业优秀大学生的交流选拔活动。夏令营旨在促进计算机应用技术专业在优秀大学生之间的交流,帮助青年学生了解当前学科发展前沿热点问题以及计算机科学技术研究所的教学与科研情况,活动包括专题讲座、 ...北京大学复试录取 本站小编 免费考研网 2016-05-10北京大学信息科学技术学院2016年全国统考及港澳台硕士研究生复试工作安排
一、组织管理: 我院成立复试与录取领导小组,由学院主管领导任组长,各专业负责人为小组成员。 各专业(或方向)成立5人专家复试小组,每一小组设组长一名、秘书一人,负责复试记录以及协调安排相关事宜。 二、复试规则: 1.复试规模:差额复试; 2.权重:初试成绩占总成绩的50%,复试成绩占总成 ...北京大学复试录取 本站小编 免费考研网 2016-05-10北京大学信息科学技术学院2016年全国硕士研究生入学考试初取名单公示
北京大学信息科学技术学院2016年全国硕士研究生入学考试初取名单现在开始公示,公示时间为2016年4月7日4月20日,公示期内如有异议,请联系eecsgrs@pku.edu.cn 或62757465。 序号 准考证号 姓名 录取专业 初试成绩 ...北京大学复试录取 本站小编 免费考研网 2016-05-10北京大学信息科学技术学院2016年推荐免试研究生名单公示
2016年推荐免试研究生名单现在开始公示,公示时间为2015年10月13日至2015年10月23日。如有异议请联系:eecsgrs@pku.edu.cn。 名单如下: 姓 名 推荐学校 推荐专业 拟录取专业 复试成绩 拟接收层次 ...北京大学复试录取 本站小编 免费考研网 2016-05-10北京大学2015年自动测试与仪器技术全国研究生暑期学校招生简章
全国研究生暑期学校是国家教育部研究生教育创新工程重要组成部分,每年为全国研究生提供大量学习及聆听前沿技术的机会。2015年自动测试与仪器技术全国研究生暑期学校,由哈尔滨工业大学主办,自动化测试与控制研究所承办,并负责组织实施。本届研究生暑期学校以哈尔滨工业大学现有研究生教育资源为基础,特别邀请国内外 ...北京大学通知公告 北京大学 免费考研网 2016-05-09中国科学院大学研究生导师简介-朱雪峰
基本信息朱雪峰 男 博导 大连化学物理研究所电子邮件:zhuxf@dicp.ac.cn 通信地址:大连市中山路457号,504组 邮政编码:116023 Researcher ID: G-8809-2013研究领域及方向主要从事用于气体分离的致密陶瓷膜及相关电催化方面的研究。目前主持和已完成的项目包 ...中国科学院大学师资导师 中国科学院大学 免费考研网 2016-05-09中国科学院大学研究生导师简介-朱雪斌
1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生基本信息 朱雪斌 男 博导 合肥物质科学研究院 电子邮件:xbzhu@issp.ac.cn 通信地址:安徽省合肥市中国科学院固体物理研究所 邮政编码:230031 研究领域 招生信 ...中国科学院大学师资导师 中国科学院大学 免费考研网 2016-05-09中国科学院大学研究生导师简介-朱学良
1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生基本信息朱学良 男 博导 中国科学院上海生命科学研究院电子邮件: xlzhu@sibcb.ac.cn通信地址: 上海市岳阳路320号新大楼803室邮政编码: 200031研究领域 ...中国科学院大学师资导师 中国科学院大学 免费考研网 2016-05-09