1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
于连忠 男 博导 中国科学院地质与地球物理研究所
电子邮件： lyu@mail.iggcas.ac.cn
通信地址： 北土城西路19号旧楼229室
邮政编码： 100029
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向微电机系统设计与制造

教育背景1991-09--1993-06 纽约州立大学布法罗分校电子工程系 光电子学硕士
1988-09--1991-06 复旦大学电子工程系 微电子学及微电机系统博士
1985-09--1988-06 复旦大学电子工程系 微电子学硕士
1981-09--1985-06 复旦大学电子工程系 半导体物理与器件学士


学历

学位
工作经历

工作简历2011-03~现在, 中科院地质与地球物理研究所, 研究员
2000-04~2011-03,Honeywell International Inc., Principle Engineer
1997-07~2000-04,Input/Output Inc., Senior Design Engineer
1996-01~1997-07,Texas Instruments, Design Engineer
1993-06~1995-12,GP:50 New York Limited, Research Engineer
1991-09~1993-06,纽约州立大学布法罗分校电子工程系, 光电子学硕士
1988-09~1991-06,复旦大学电子工程系, 微电子学及微电机系统博士
1985-09~1988-06,复旦大学电子工程系, 微电子学硕士
1981-09~1985-06,复旦大学电子工程系, 半导体物理与器件学士


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果（ 1 ）MEMS vertical comb drive with improved vibration performance,2008,第 2 作者,专利号: US **
（ 2 ）哑铃型梁膜结构,1988,第 2 作者,专利号: CN**.4
（ 3 ）双岛梁膜结构,1988,第 2 作者,专利号: CN**.2
（ 4 ）梁膜硅压力传感器,1989,第 2 作者,专利号: CN**.0
（ 5 ）具有过载保护的岛膜结构,1989,第 2 作者,专利号: CN**.1
（ 6 ）Micro machined mirror,2001,第 2 作者,专利号: US **
（ 7 ）Comb structure fabrication methods and systems,2009,第 1 作者,专利号: US **
（ 8 ）Merged-mask micro-machining process,2003,第 1 作者,专利号: US **
（ 9 ）Vibrating beam accelerometer,2006,第 1 作者,专利号: US **
（ 10 ）Vibrating beam accelerometer two-wafer fabrication process,2005,第 1 作者,专利号: US **
（ 11 ）Dual axis micro machined mirror device,2002,第 2 作者,专利号: US **
（ 12 ）Accelerometer with folded beams,2004,第 3 作者,专利号: US **
（ 13 ）Integrated and multi-axis sensor assembly and packaging,2006,第 5 作者,专利号: US **
（ 14 ）High performance MEMS packaging architecture,2007,第 2 作者,专利号: US **
（ 15 ）System and method for uniform multi-plane silicon oxide layer formation for optical applications,2008,第 1 作者,专利号: US **
（ 16 ）Temporary bridge for micro machined structures,2002,第 1 作者,专利号: US **
（ 17 ）Method of making dimple structure for prevention of MEMS device stiction,2009,第 1 作者,专利号: US **

出版信息

发表论文（1） Sensors and actuators, Vol.A28, No.2, 105-112, 1991, 第 1 作者
（2） Sensors and Actuators,Vol.A21-A23, 137-141, 1990, 第 2 作者
（3） Sensors and Actuators, Vol.19, No.1, 23-31, 1989, 第 2 作者
（4） Sensors and Actuators, Vol.A18, No.3/4, 219-229, 1989, 第 3 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）MEMS加速度传感器规模化制造技术与苏子检波器集成-新型MEMS加速度传感器芯片设计与制备技术, 参与, 国家级, 2011-01--2016-01


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生