热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算
| 文献类型 | 会议 |
| 作者 | 樊尚春[1];邢维巍[2];贾振宏[3] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学自动化学院测量与控制技术与仪器系(北京 [2]北京航空航天大学自动化学院测量与控制技术与仪器系(北京 [3]北京航空航天大学自动化学院测量与控制技术与仪器系(北京 ↓ |
| 会议论文集 | 仪器仪表学报/2002.3增刊(上,下册) |
| 来源信息 | 年:2002页码范围:561-562 |
| 会议信息 | 中国仪器仪表学会第四届青年学术会议ISSN: |
| 关键词 | 热激励;谐振式传感器;压力传感器;硅微结构;有限元法;温度场 |
| 摘要 | 针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻给振的压力微传感器的实际结构,利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算,分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度、厚度变化时,以及激、拾振电阻共同作用时,梁谐振子温度场的分布规律. |
| 所属部门 | 自动化科学与电气工程学院 |
| 全文链接 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_3403843.aspx |
| 会议地点 | 北京 |
| 会议开始日期 | 2002-09-01 |
| 人气指数 | 1 |
| 浏览次数 | 1 |
全文
影响因子：
dc:title:热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算
dc:creator:樊尚春;邢维巍;贾振宏
dc:date: publishDate:2002-09-01
dc:type:会议
dc:format: Media：中国仪器仪表学会第四届青年学术会议
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：中国仪器仪表学会第四届青年学术会议.2002,561-562.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:
