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微机电系统(MEMS)促进测量学发展

外文标题	The Developments of Measurement Promoted by the MEMS
文献类型	期刊
作者	黄俊钦[1]
机构	[1]北京航空航天大学!北京100083 ↓
来源信息	年:2001卷:22期:1页码范围:107-110
期刊信息	仪器仪表学报ISSN:0254-3087
关键词	微机电系统;MEMS;测量学
摘要	本文从纳米、超微角位移测量,及力学、声学、医学测量诸方面说明MEMS促进测量学的发展。通过所举范例,可以看出MEMS在各方面促进测量学发展及其深远的科学意义。其中超微角位移测量的构想以往资料未见,是创新。
收录情况	PKUCSCD
链接地址	http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_yqyb200101030.aspx
DOI	10.3321/j.issn:0254-3087.2001.01.030

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dc:title:微机电系统(MEMS)促进测量学发展
dc:creator:黄俊钦
dc:date: publishDate:2001-02-20
dc:type:期刊
dc:format: Media：仪器仪表学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：仪器仪表学报.2001,22(1),107-110.
dc:identifier:DOI：10.3321/j.issn:0254-3087.2001.01.030
dc: identifier:ISBN:0254-3087