微悬臂梁传感器的信号和噪声优化
| 文献类型 | 学位 |
| 作者 | 于晓梅[1] |
| 机构 | 北京航空航天大学 ↓ |
| 授予学位 | 博士 |
| 年度 | 2001 |
| 学位授予单位 | 北京航空航天大学 |
| 语言 | 中文 |
| 关键词 | 悬臂梁;l/f噪声;Hooge因子;最小可探测位移;纳米硅薄膜 |
| 摘要 | 硅微悬梁传感器是原子力显微镜的基础上发展起来的一种高灵敏度器件,这种结构的传感器由于其体积小、灵敏度高,近年来在生化传感器领域倍受关注.单晶硅是制备半导体传感器最具代表性的材料之一,被多数悬梁研究小组采用.非晶硅、微晶硅、多晶硅等材料由于它们的廉价性和易于制造性同样具有广阔的应用前景.该工作同时采用单晶硅、非晶硅、微晶硅和多晶硅作为力敏材料,在不同工艺条件下,在国际上率先设计、制备了阵列式力敏悬臂梁.通过对制备的悬臂梁进行噪声、灵敏度、响应频率等参数的测量,得到了最佳设计参数和工艺条件. |
影响因子：
dc:title:微悬臂梁传感器的信号和噪声优化
dc:creator:于晓梅
dc:date: publishDate:1753-01-01
dc:type:学位
dc:format: Media：北京航空航天大学
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：北京航空航天大学.2001.
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dc: identifier:ISBN:
