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高精度光栅干涉测量技术及仪器

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06
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高精度光栅干涉测量技术及仪器
外文标题Grating Interference Measuring Technique and Instrument with High Accuracy
文献类型期刊
作者李成贵[1];董申[2]
机构
来源信息年:2000卷:20期:1页码范围:36-39
期刊信息航空计测技术ISSN:1002-6061
关键词测量;光栅;激光;干涉仪
摘要在超精密测量和控制技术中,对测量精度提出了越来越高的要求,如尺寸精度1 nm和角度0.001″.由于光栅测量具有精度高、抗干扰能力强、寿命长和价格便宜等优点,最近几年光栅干涉测量技术被广泛研究和使用.本文简单介绍几种在超精密测量和制造过程中常用的微纳米光栅干涉测量技术.
所属部门自动化科学与电气工程学院
链接地址http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_hkjcjs200001012.aspx
DOI10.3969/j.issn.1674-5795.2000.01.012
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dc:title:高精度光栅干涉测量技术及仪器
dc:creator:李成贵;董申
dc:date: publishDate:1753-01-01
dc:type:期刊
dc:format: Media：航空计测技术
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：航空计测技术.2000,20(1),36-39.
dc:identifier:DOI：10.3969/j.issn.1674-5795.2000.01.012
dc: identifier:ISBN:1002-6061
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