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热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06
文献详情


热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统
文献类型期刊
作者樊尚春[1];刘广玉[2]
机构
来源信息年:2000期:02页码范围:34-36
期刊信息测控技术ISSN:1000-8829
关键词热激励;谐振式传感器;硅微结构;压力传感器
摘要讨论了一种热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件 ;硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻 ,作为热激励单元 ;在梁的根部设置一压敏电阻 ,作为拾振单元。基于该谐振式硅微结构压力传感器敏感机理 ,分析了信号的相互转换 ,给出了传感器闭环系统实现的条件。
所属部门自动化科学与电气工程学院
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dc:title:热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统
dc:creator:樊尚春;刘广玉
dc:date: publishDate:2000-02-18
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dc:format: Media：测控技术
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dc: identifier:ISBN:1000-8829
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