热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统
| 文献类型 | 期刊 |
| 作者 | 樊尚春[1];刘广玉[2] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学自动控制系!100083,北京航空航天大学自动控制系!100083 [2]北京航空航天大学自动控制系!100083,北京航空航天大学自动控制系!100083 ↓ |
| 来源信息 | 年:2000期:02页码范围:34-36 |
| 期刊信息 | 测控技术ISSN:1000-8829 |
| 关键词 | 热激励;谐振式传感器;硅微结构;压力传感器 |
| 摘要 | 讨论了一种热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件 ;硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻 ,作为热激励单元 ;在梁的根部设置一压敏电阻 ,作为拾振单元。基于该谐振式硅微结构压力传感器敏感机理 ,分析了信号的相互转换 ,给出了传感器闭环系统实现的条件。 |
| 所属部门 | 自动化科学与电气工程学院 |
| 人气指数 | 1 |
| 浏览次数 | 1 |
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影响因子：
dc:title:热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统
dc:creator:樊尚春;刘广玉
dc:date: publishDate:2000-02-18
dc:type:期刊
dc:format: Media：测控技术
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：测控技术.2000,34-36.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:1000-8829
