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超精密机床工作台运行误差的测量与补偿

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06
文献详情


超精密机床工作台运行误差的测量与补偿
文献类型期刊
作者朱喜林[1];高鹏[2];袁哲俊[3];王晓慧[4]
机构
来源信息年:1999期:01页码范围:94-96
期刊信息兵工学报ISSN:1000-1093
关键词超精密机床;工作台;位置敏感检测器件;测量;补偿
摘要首先介绍了位置敏感检测器件PSD(PositionSensitiveDetector)的工作原理和标定方法 ,再用PSD对超精密机床工作台运行误差进行在线测量 ,最后给出了误差实时补偿的方法
收录情况PKUCSCD


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暂无成果共有人
dc:title:超精密机床工作台运行误差的测量与补偿
dc:creator:朱喜林;高鹏;袁哲俊,等
dc:date: publishDate:1999-02-15
dc:type:期刊
dc:format: Media：兵工学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：兵工学报.1999,94-96.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:1000-1093
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