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硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06

文献详情


硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
文献类型期刊
作者周浩敏[1];邢维巍[2];刘广玉[3]
机构
来源信息年:1999期:04页码范围:87-89
期刊信息航空学报ISSN:1000-6893
关键词硅谐振微传感器;开环测试;信号处理;同频干扰
摘要介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统,可测出谐振梁的幅频和相频特性,而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。开环测试中最重要的问题是所谓的同频干扰。发现通过激励电阻与拾振电阻间的分布电容耦合的激励信号是同频干扰的最终来源。用对称激励技术成功地解决了这一问题。
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dc:title:硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
dc:creator:周浩敏;邢维巍;刘广玉
dc:date: publishDate:1999-07-25
dc:type:期刊
dc:format: Media:航空学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature:航空学报.1999,87-89.
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dc: identifier:ISBN:1000-6893
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