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硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06
文献详情


硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化
文献类型期刊
作者樊尚春[1];李明明[2];宋治生[3]
机构
来源信息年:1999期:04页码范围:75-77
期刊信息航空学报ISSN:1000-6893
关键词微传感器;结构优化;能量耦合
摘要对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨论的敏感结构以方形硅膜片作为一次敏感元件，直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁，以硅梁作为二次敏感元件，间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合，提高振子的Ｑ值，采用有限元仿真分析的方法，优化敏感边界结构参数。
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dc:title:硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化
dc:creator:樊尚春;李明明;宋治生
dc:date: publishDate:1999-07-25
dc:type:期刊
dc:format: Media：航空学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：航空学报.1999,75-77.
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dc: identifier:ISBN:1000-6893
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