硅谐振微传感器频率特性测试系统的研制
| 文献类型 | 学位 |
| 作者 | 邢维巍[1] |
| 机构 | 北京航空航天大学 ↓ |
| 授予学位 | 硕士 |
| 年度 | 1999 |
| 学位授予单位 | 北京航空航天大学 |
| 语言 | 中文 |
| 关键词 | 硅谐振微传感器;频率特性;微弱信号;相关检测;串行总线 |
| 摘要 | 该文介绍了硅谐振微传感器频率特性测试系统的测试对象、工作原理、硬件结构、软件结构、关键算法、研制过程与实验结果.该系统的首要测试对象是硅谐 振微传感器,但适用于各类电阻拾振的谐振式传感器;工作原理的核心是"直接相关检测"原理;硬件和软件结构的核心是通用串行总线;关键算法是"频域扫描"算法;几个关键模块在研制过程中都尝试了多种方案;实验结果证明系统达到了预期目标,可以大幅度提高传感器频率特性测试的效率.测试系统研制过程中遇到几个技术难点:电容耦合干扰的克服、高频率分辨率波形发生器的研制、信号相位的控制、低噪声电压-电流变换器的研制、低噪声器件的选择、模块间的通讯等.研究人员一一克服了这些难点,在此过程中,发展了一些新技术,这些技术在其他领域也有一定的应用价值. |
影响因子：
dc:title:硅谐振微传感器频率特性测试系统的研制
dc:creator:邢维巍
dc:date: publishDate:1753-01-01
dc:type:学位
dc:format: Media：北京航空航天大学
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：北京航空航天大学.1999.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:
