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MEMS CAD/CAE系统中的静电性能和机电性能仿真

文献类型	学位
作者	徐颖[1]
机构	北京航空航天大学 ↓
授予学位	硕士
年度	1999
学位授予单位	北京航空航天大学
语言	中文
关键词	微型机电系统;计算机辅助设计;边界元素法;静电场;可视化
摘要	首先,该文比较了面向MEMS的CAD/CAE与常规的机械和电子的CAD/CAE的区别,分析了一般的面向MEMS的CAD/CAE系统包含的基本技术和内容,提出了北航的MEMS CAD/CAE的系统结构,主要包括MEMS三维结构设计、静电性能分析、机电性能分析、掩模生成与编辑、数据库与知识库、加工过程模拟;其次,对MEMS的静电性能进行了深入的研究.选择了边界元素作为MEMS静电性能分析的基本方法;提出了静电性能的分析算法,并讨论了算法的时空效率和误差;对静电性能分析的前置处理进行了研究,着重讨论了网络的自动剖分方法;接着,对科学计算可宙化技术进行了研究.讨论了OpenGL在可视化工作中的应用,并着重研究了电荷密度云图的实现;最后,对MEMS的机电性能进行了研究.研究了梁在静电力作用下的变形问题.

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dc:title:MEMS CAD/CAE系统中的静电性能和机电性能仿真
dc:creator:徐颖
dc:date: publishDate:1753-01-01
dc:type:学位
dc:format: Media：北京航空航天大学
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：北京航空航天大学.1999.
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dc: identifier:ISBN: