工业型脉冲直流等离子体化学气相沉积工模具表面强化设备
| 文献类型 | 专利 |
| 发明人 | 徐可为[1];陶冶[2];何家文[3];南俊马[4];张凌云[5];朱晓东[6];马胜利[7];李雁淮[8];刘齐成[9] |
| 机构 | 西安交通大学;北京航空航天大学 ↓ |
| 申请人 | 西安交通大学 北京航空航天大学 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 年度 | 1999 |
| 专利申请日期 | 1999-12-29 |
| 专利公开日期 | 2000-08-23 |
| 专利公开号 | CN1263953 |
| 专利申请号 | CN99115959.4 |
| 国家或地区 | 陕西 |
| 摘要 | 一种在刀具、模具及要求耐磨、耐蚀金属部件表面沉积硬质陶瓷薄膜材料的等离子体化学气相沉积设备，主要由炉体及真空系统、加热及温控系统，等离子体电源系统，气体供给及控制系统组成，真空炉体为钟罩式结构，内壁布有加热元件，用屏蔽罩防止加热体电场与等离子电场之间的相互干扰，实现内热式加热，可在工模具及零部件表面镀覆单一膜，多元膜和多层复合膜等，以改善耐磨、耐蚀、抗氧化和热疲劳等性能，从而提高使用寿命和生产效率。 |
影响因子：
dc:title:工业型脉冲直流等离子体化学气相沉积工模具表面强化设备
dc:creator:徐可为;陶冶;何家文,等
dc:date: publishDate:1999-12-29
dc:type:专利
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dc:identifier: LnterrelatedLiterature：1999.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:
