图1.（a）电热式Microshutter的开态；（b）关态；（c）半开态；（d）多态混合；（e）可连续控光Mircoshutter的应用场景：智能窗户。
为了更好的利用自然光，用于“绿色建筑”的智能窗户受到广泛的关注。基于MEMS技术实现的Microshutter由于具有较快的开关速度和较低的制造成本，被认为是智能窗户最有前景的解决方案之一。然而，目前绝大多数Microshutter只能工作在开、关两种模式下，无法实现像素的高精度、动态、多灰度控制。电热驱动以其极大的运动范围和较低的驱动电压而独具优势，且其致动位移在整个驱动范围内都是可连续调节和控制的，这正是可连续控光的Microshutter所需要的。为此，本研究提出一种基于电热式驱动实现的Microshutter阵列，每个阵列由多个单元构成，如图1所示。
图2.（a）电热式Microshutter阵列的SEM图（俯视图）；（b）电热式Microshutter阵列的SEM图（正视图）；（c）单像素通光率与驱动电压的关系；（d）阵列通光率与驱动电压的关系；（e）Microshutter随驱动电压增加的形变示意图；（f）阵列的开关态；（g）百万次驱动可靠性测试；（h）长时间加电可靠性测试。
本研究首先建立了电热式Microshutter的理论模型，并进行了有限元仿真，优化了器件的透光率、控制精度，利用SOI衬底，结合体微加工工艺和表面微加工工艺，成功制备了Microshutter器件，如图2所示。同时还进行了器件的长期可靠性测试，该结果表明器件功能完好，模拟控制特性未发生变化。
该器件还可用于动态精准照明、多灰度照明、图案显示、信息交流、天文光谱仪等多种应用领域。
论文链接：https://doi.org/10.1364/OE.404680
